会议介绍
云端电磁分析软件EMC在PVD磁控溅射方面的应用
小索大智汇 发布
2022.05.19
刘敦远
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课程介绍
主讲人姓名: 刘敦远
主讲人职位: 达索系统SOLIDWORKS仿真技术顾问
主讲人简介:
硕士研究生, 2019年5月加入达索析统SOLIDWORKS部门,负责Simulation相关产品。

课程简介:
磁控溅射是一种物理气相沉积(PVD)工艺,是制造半导体、磁盘驱动器等的主要薄膜沉积方式。使用CST技术的3DEXPERIENCE EMC这一角色可以很好的分析磁控溅射中关心的问题,如靶材刻蚀、薄膜沉积、等离子体移动等。
1. 云端电磁分析软件EMC简介
2. EMC在半导体行业的应用